茂莱光学：公PG电子app下载 PG电子app官网司为光刻机光学系统提供用于匀光、中继照明模块的器件、投影物镜以及用于工件台位移测量系统的棱镜组件

发布时间：2023-05-24点击数：

　　同花顺300033）金融研究中心5月23日讯，有投资者向茂莱光学提问，众所周知，国产光刻机的一个重要瓶颈就在于光学镜头技术。请问公司近期在该方向有没有可能实现突破性进展？谢谢！

　　公司回答表示，光刻 PG电子机是集成电路制造的关键核心设备。高端光刻机含有上万个零部件，光学器件是其中的一类关键部件，对光刻机的成像分辨率和套刻精度有重要影响。光学器件精度需控制在几纳米以内，对误差和稳定性的要求极为苛刻。公司为光刻机光学系统提供用于匀光、中继照明模块的光学器件、投影物镜，以及用于工件台位移测量系统的棱镜组件，是光刻机实现光线均匀性与曝光成PG电子像的关键模块。